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双Z轴6轴线轨高精密运动台

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双Z轴6轴线轨高精密运动台
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编辑时间 : 2026-09-01
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  • 应用行业3C、新能源半导体激光等

  • 应用领域六轴精密运动台,满足高速度、高加速度、高精度的产品

  • 定制需求。适用于玻璃薄片检测、玻璃切割、激光加工、

  • 屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、三维形貌等高端制造业。


产品特性:

  • X、Y、θ1、θ2、Z1、Z2,直驱电机驱动,保证高速度高加速度和亚

  • 微米级精度。XY直线电机驱动,θ1、θ2直驱DD马达驱动,Z1、Z2

  • 线电机驱动配备平衡气缸,断电保护。

  • 最大速度1000mm/s,加速度1g;

  • 旋转轴重复定位精度1arcsec;

  • XY正交2arcsec;

  • 高精度光栅尺反馈。


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